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产品名称:

进口光学平台

更新时间:2019-01-30

产品型号:
美国TMC进口光学平台成立于1969年,是专门生产振动隔离系统的厂家。TMC领导了世界振动隔离系统*先进的设计理念,至今仍保持多项技术。
  • 详细内容

进口光学平台

TMC主动隔振系统STACIS® III

STACIS初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微平版印刷,计量和检测设备,现在是噪声环境中敏感仪器的行业标准解决方案,包括但不限于半导体工厂,故障分析实验室,纳米技术研究,纳米制造设施和材料研究。

STACIS III包括一个新的和改进的数字控制器,DC-2020。新的双核处理器和以太网以及前后面板上的USB串行端口,这个新的先进的控制系统为用户提供了一个现代的,易于使用的图形用户界面(GUI)。通过数百个成功安装,STACIS是振动敏感度高的仪器的理想振动消除系统。

特征及优点:

  • 新改进型DC-2020数字控制器,提供易于使用的图形用户界面
  • 隔振开始于0.6Hz,1Hz时达到40%至70%的隔离率
  • 频率2赫兹和更高时,垂直和水平隔振率大于90%
  • 降低基础设施的要求和建设成本,即使有较大外界震动设备也可正常运行
  • 有效隔振范围,0.6Hz到150Hz
  • 获得众多用户的广泛认可和肯定
  • 6向自由度硬安装设计,无需空气悬架
  • 强大的控制系统无需定期重新校准
  • point-of-use设计方案,与客户现有隔振系统无缝兼容
  • 随着外部环境改变,系统自动调节以适应不同外部震动情形
  • TMC的STACIS®技术使用压电执行器主动消振
  • 数字控制器与基于PC的图形用户界面(GUI)
  • 提高客户产品产量、质量、成品率。
  • 符合RoHS标准
  • 宽的主动隔振带宽,的低频隔振效果
  • 亚赫兹的主动震动消除,主要在0.6-6Hz频段内的隔振
  • 可堆叠式设计
  • 主动硬式安装结构、而非软式悬浮、无低频漂移、主动元件与刚性弹簧相连
  • 被动弹簧滤除了来自STACIS传感器的负载谐振,需要的调谐非常少,甚至无需调谐
  • 由于阻抗不匹配,可兼容仪器内部隔离器
  • 负载可达2000kg

STACIS® III性能规格:

Active degrees of freedom

6

Active bandwidth

0.6 Hz - 150 Hz

Passive natural frequency

18 Hz vertical and horizontal

Effective active resonant frequency

0.5 Hz

Isolation at 1 Hz

40% - 70%

Isolation at ≥2 Hz

≥90%

Settling time after a 10 lb (4.5 kg) step input (10:1 reduction)

0.3 sec

Internal noise

0.1 nm RMS

Operating load range per isolator

Low capacity: 400-1100 lbs (181-499 kg)
Med capacity: 900-2100 lbs (408-953 kg)
Hi capacity: 1900-4500 lbs (862-2041 kg)

Static lift capacity per isolator

9000 lbs (4090 kg)

Stiffness (1000 lb / 454 kg mass, Med capacity isolator)

40,000 lb/in. (73 x 105N/m)

Magnetic field emitted at maximum 4 in.(102 mm) from the isolator

 0.02 μG broadband RMS

STACIS® III用户及应用领域:

1、微电子、半导体

  • 晶片检测
  • 显微光刻技术
  • 掩膜校准

2、科学研究、纳米技术

  • SEM、TEM
  • STEM、SPM

3、激光台

  • 生命科学、药物研发

4、工业应用

  • 精密加工

为什么要选择主动系统?

  • 1Hz开始强烈消除地面震动,气动平台在这一低频处无法起到有效的隔振
  • 提高质量、生产量
  • 更加细小特色的成像能力
  • 前沿研究
  • 比气动平台更稳定
  • 满足SEM标准地点安装参数的wei一解决方案
  • 使得新实验室及研究设备的工程造价更低

主动系统为何选择STACIS

  • 正中了科研者的的心声,提供了尽可能的无震环境。
  • 市场上强劲的低频隔振系统。
  • 目前所有的SEM厂商都公布了安装参数要求,其需要的震动参数需要主动隔振设备才能满足。
  • STACIS发明于1990s,经TMC进一步发展,开发和安装了数以千计的主动隔振设备,这是主动隔振控制领域的提供的可靠解决方案。

STACIS相比气动隔离器刚性大几百倍

稳定时间作为对扰动的响应,由于独特的串联式设计,而大大缩短,理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。

如下优势在业内都是的

  • STACIS的主动隔振带宽为0.6Hz -150Hz
  • 6个自由度的主动震动消除,在1Hz时隔振8-10dB 
  • 从2-3Hz时,隔振可达90% (20dB) 

性能曲线

4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

 

进口光学平台 超净间790系列

ClassOne 790 Series for Cleanrooms

ClassOne™CleanTop®光学平台是为了将传统的CleanTop平台用于超净间所做的扩展。共有两种阻尼可选:大阻尼和标准阻尼。如果需要,不锈钢CleanTop“杯”结构也可供选择。

特点

  • 5mm厚的平台顶板
  • 两个固定等级阻尼
  • CleanTop独立尼龙杯,每一个螺纹孔下面都是密封的
  • 不锈钢结构顶板、底板和侧壁
  • 适用于超净间的设计和包装 

规格

Core

Sl honeycomb,closed-cell,0.010 in. thick foil

钢制蜂窝封闭孔,0.010英寸厚的铝箔

Core shear modulus

275,000 psi

Core cell size

<0.5 in.²

Core density

13.3 lbs/ft³(230kg/m³)

Flatness

±0.005 in.(0.13mm)

Top and botton skins

430 series ferromagnetic stainless steel

430系列铁磁不锈钢

Sidewalls

Stainless steel with damped interior surface

不锈钢与内部减震表面

Tapped holes

Backed by 1 in. (25mm)

Long nylon(optional stainless steel 304alloy)cups

使用25mm长尼龙杯(或304不锈钢杯)

 

Surface Dimensions

8"
Thick Tops
(200 mm)

12"
Thick Tops
(300 mm)

18"
Thick Tops
(450 mm)

24"
Thick Tops
(600 mm)

in.

ft.

m

  30 x 60
maximum dry damping

  

  0.75 x 1.5
maximum dry damping

  794-432

  794-632

  

  

  30 x 72
maximum dry damping

  

  0.75 x 1.8
maximum dry damping

  794-491

  794-691

  

  

  30 x 96
maximum dry damping

  

  0.75 x 2.4
maximum dry damping

  794-492

  794-692

  

  

  30 x 120
maximum dry damping

  

  0.75 x 3.0
maximum dry damping

  794-493

  794-693

  

  

  36 x 60
maximum dry damping

  3 x 5
maximum dry damping

  0.9 x 1.5
maximum dry damping

  794-436

  794-636

  

  

  36 x 72
maximum dry damping

  3 x 6
maximum dry damping

  0.9 x 1.8
maximum dry damping

  794-439

  794-639

  

  

  36 x 96
maximum dry damping

  3 x 8
maximum dry damping

  0.9 x 2.4
maximum dry damping

  794-440

  794-640

  794-740

  794-840

  36 x 120
maximum dry damping

 3 x 10 
maximum dry damping  

  0.9 x 3.0
maximum dry damping

  794-494

  794-694

  794-794

  794-894

  40 x 60
maximum dry damping

  

  1.0 x 1.5
maximum dry damping

  794-443

  794-643

  

  

  40 x 80
maximum dry damping

  

  1.0 x 2.0
maximum dry damping

  794-444

  794-644

  794-744

  794-844

  40 x 120
maximum dry damping

  

  1.0 x 3.0
maximum dry damping

  794-445

  794-645

  794-745

  794-845

  48 x 48
maximum dry damping

  4 x 4
maximum dry damping

  1.2 x 1.2
maximum dry damping

  794-447

  794-647

  

  

  48 x 60
maximum dry damping

  4 x 5
maximum dry damping

  1.2 x 1.5
maximum dry damping

  794-449

  794-649

  

  

  48 x 72
maximum dry damping

  4 x 6
maximum dry damping

  1.2 x 1.8
maximum dry damping

  794-451

  794-651

  794-751

  794-851

  48 x 96
maximum dry damping

  4 x 8
maximum dry damping

  1.2 x 2.4
maximum dry damping

  794-455

  794-655

  794-755

  794-855

  48 x 120
maximum dry damping

  4 x 10
maximum dry damping

  1.2 x 3.0
maximum dry damping

  794-459

  794-659

  794-759

  794-859

  48 x 144
maximum dry damping

  4 x 12
maximum dry damping

  1.2 X 3.6
maximum dry damping

  794-463

  794-663

  794-763

  794-863

  48 x 168
maximum dry damping

  4 x 14
maximum dry damping

  1.2 x 4.2
maximum dry damping

  794-465

  794-665

  794-765

  794-865

  48 x 192
maximum dry damping

  4 x 16
maximum dry damping

  1.2 x 4.8
maximum dry damping

  794-467

  794-667

  794-767

  794-867

  60 x 60
maximum dry damping

  5 x 5
maximum dry damping

  1.5 x 1.5
maximum dry damping

  794-470

  794-670

  794-770

  794-870

  60 x 72
maximum dry damping

  5 x 6
maximum dry damping

  1.5 x 1.8
maximum dry damping

  794-471

  794-671

  794-771

  794-871

  60 x 80
maximum dry damping

  

  1.5 x 2.0
maximum dry damping

  794-472

  794-672

  794-772

  794-872

  60 x 96
maximum dry damping

  5 x 8
maximum dry damping

  1.5 x 2.4
maximum dry damping

  794-473

  794-673

  794-773

  794-873

  60 x 120
maximum dry damping

  5 x 10
maximum dry damping

  1.5 x 3.0
maximum dry damping

  794-475

  794-675

  794-775

  794-875

  60 x 144
maximum dry damping

  5 x 12
maximum dry damping

  1.5 x 3.6
maximum dry damping

  794-476

  794-676

  794-776

  794-876

  60 x 168
maximum dry damping

  5 x 14
maximum dry damping

  1.5 x 4.2
maximum dry damping

  794-477

  794-677

  794-777

  794-877

 60 x 192
maximum dry damping

 5 x 16
maximum dry damping

  1.5 x 4.8
maximum dry damping

  794-478

  794-678

  794-778

  794-878

Weight Factor(WF) (approx.);
Area x WF = Total Weight

 

0.255 lb/in.2
(0.016 kg/cm2

0.265 lb/in.2
(0.019 kg/cm2)

0.420 lb/in.2
(0.030 kg/cm2)

0.475 lb/in.2
(0.033 kg/cm2)

 

主动隔振基座SEM-Base® VI

用于SEM的主动式压电陶瓷振动消除地面式隔振基座-非气浮式系统

SEM-Base® VI是TMC STACIS主动压电振动消除产品系列的新一代产品。SEM- Base®  VI设计用于承载所有商业扫描电子显微镜(SEMs)、多数聚焦离子来显微 镜(FIB)及小型双尤来设备。SEM-Base® VI可以提供升级版的振动隔离性能及更快更强劲的控制器,带有图形用户界面(GUI)。SEM-Base VI让越来越多的实验室、工厂可以实现能够满足其关键设备所要求的地面振动水平。

SEM-Base® VI采用独特串联结构,振动传感器测量的是地面振动,不是负载振动。这样就确保了负载谐振将不会限制平台的振动隔离或者引起不稳定性。振动传感器采用低频惯性速度传感器,在测量亚Hz振动时具有大的敏感度。加上TMC独特的压电致动技术,SEM-Base® VI即使在振动情况已经很好的地面上也可以实现超高水平的振动消除。

相比之前的SEM-Base版本,SEM-Base® VI的振动隔离能力平均来说增加了6dB,而且采用了TMC新一代控制器DC-2020,采用新式双核处理器,为设备拥有者及研究者提供非常简单易于使用的图形用户界面,可以快速进入系统并实现平和的操作心态。当通过Ethernet连接时,DC-2020在用户的浏览器上即可实现SEM-Base图形用户界面,无需额外安装软件或者应用程序。当然用户也可以通过控制器的菜单驱动液晶屏(LCD)直接进行控制。

优势:

  • 硬式装载技术

SEM-Base® VI兼容 SEM 内部预装的任何隔振系统,从0.6Hz开始主动强力消减地面低频振动。

  • 主动惯性振动消除

SEM-Base® VI采用高灵敏度的低频惯性速度传感器,即使在安静的地面上也可以达到高水平的振动衰减。

  • 串行设计与压电技术

独特串行设计加上高强度压电技术,SEM-Base® VI不但达到了宽至0.6Hz-150Hz的主动带宽,更实现了的惯性主动振动消除,2Hz以上的振动衰减可达 90%以上。

  • 完全集成式的单平台设计

SEM-Base® VI设计与制造的集成化,将安装平台的工作简化到了jizhi,简单的定位与设置之后即可正常工作。

NOTE:可选SEM-Closure,专门设计用于保护SEM的完整环境解决方案。在SEM- Closure密封隔音室内可兼顾放置 SEM-Base® VI与Mag-Net X,保护SEM免除振动、磁场扰动与声波噪音的影响

特点:

  • STACIS技术
  • 主动惯性振动清除系统
  • 895×1124×160 mm (35.25×44.25×6.3 in.)适合绝大多数商业SEM
  • 负载能力:408-1134kg (900-2500 lb.)
  • 隔振效率1Hz:40-70%
  • 隔振效率经2Hi:90%
  • 隔振效率>3Hz:90-98%
  • 6个主动自由度
  • 安装容易,调试简单
  • 兼容所有设备内直的振动隔离系统
  • 电源:100-240VAC, 50/60Hz, 600W
  • 是否需要空气:非气浮系统
  • CE与RoHS认证
  • 完全集成式的单平台设计
  • 可安装脚轮,轻松便携移动,无需搬运
  • 兼容SEM-lift系统

性能规格:

Active degrees of freedom

6

Active bandwidth

0.6 Hz - 100 Hz

Passive natural frequency

12 Hz nominal

Effective active resonant frequency

0.5 Hz

Isolation at 1 Hz

40% - 70%

Isolation at 2 Hz

90%

Isolation at ≥3 Hz

90-98%

Internal noise

<0.1 nm RMS

Operating load range

Standard capacity: 900 - 2,500 lbs (408 - 1134 kg)
High capacity: 2,500 - 3,200 lbs (1134 - 1452 kg)

Static lift capacity

12,000 lbs (5454 kg)

Magnetic field emitted
at maximum 4 in.(102 mm)
from the platform

0.02 μG broadband RMS

内置控制器规格

Processor

150/75 MHz dual core

Sampling rate

10 kHz

Analog outputs

16 channels

Analog inputs

16 channels

Status light

single LED

Front panel ports

1x serial USB 2.0
1x serial Micro-USB
1x Ethernet RJ-45
2x BNC

User interface

Front panel LCD display
Character menu on HyperTerminal
Extended GUI for Microsoft Windows
Embedded Ethernet GUI

隔离器设计,尺寸,环境和实用要求

Environmental and safety

CE and RoHS compliant

Active isolation elements

high-force piezoelectric actuators that receive signal
from a high-voltage amplifier with an output of up to 800 VDC

Passive isolation element

single stiff elastomer (no compressed air supply required)

Vibration sensor elements

downward facing geophone type inertial sensors
that measure floor vibration below the isolator
and deliver voltage proportional to the velocity of vibration motion

Active feedback control loop

Floor vibration is measured, processed
and attenuated below the spring
supporting the isolated surface

Dimensions (D)

35.25 x 44.25 in.
895 x 1124 mm

Height

6.3 in. (160 mm) nominal,
doesn't change when SEM-Base is switched off

Operating temperature

50° - 90° F
10° - 32° C

Storage temperature

-40° - 130° F
-40° - 55° C

Humidity (operating)

30 - 60%

System power requirements

100, 120, 230, 240 VAC
50/60 Hz AC;
600 W
CE compliant

Floor displacement

800 μin. (20 μm) below 10 Hz

性能曲线:

1800 lbs (818 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

产品尺寸:

CleanBench 68-500高负载光学实验桌

对于需要隔离净重超过350磅(160千克)的隔振实验桌应用,我们推荐使用我们的高负载的CleanBench 68-500系列实验桌。 它们与我们的63-500系列工作台设计类似,具有更高负载的隔离装置和更厚的不锈钢顶板。

除高负荷应用外,CleanBench还推荐用于具有异常高重心和有移动平台的设备的负载。 这些应用程序应该受益于稳定性的提高。

随着更坚硬,更厚重的台面,更低的固有频率的隔离器和更坚硬更重的支腿,高负载的CleanBenches提供的性能明显优于业内其他被动式工作台。

参数

隔离器固有频率

高频输入

垂直方向=1.0Hz,水平方向=0.8Hz

低频输入

垂直方向=1.2-1.7Hz,水平方向=1.0-1.5Hz

隔离器效率@5HZ

垂直方向=80-90%   水平方向=80-90%

隔离器效率@10Hz

垂直方向=90-99%   水平方向=90-99%

推荐负载能力

545Kg

整体材料

不锈钢平台, 黑色氧化处理中等材料框架

空压机要求

80psi氮气或空气

船运重量

454kg

参数尺寸图

High-Capacity CleanBench Lab Tables with Gimbal Piston Vibration Isolation

Table Size (DxL)

Smooth Top

Tapped Holes
1/4-20 on 1 in. Spacing

Tapped Holes

M6 on 25 mm Spacing 

900 x 1200 mm
35.4 x 47.2 in.

68-9012S

68-9012E

68-9012M

900 x 1500 mm
35.4 x 59.0 in.

68-9015S

68-9015E

68-9015M

Accessories - All Table Sizes

Casters (set of four)

83-013-01

Regular Armrest Pad (two recommended)

81-303-01

Subshelf

81-421-01

Accessories - Size Dependent

Table Size (DxL)

Front Support Bar

Rear Support Bar

900 x 1200 mm
35.4 x 47.2 in.

81-401-12

81-402-12

900 x 1500 mm
35.4 x 59.0 in.

81-401-15

81-402-15

 

Everstill™桌面式主动隔振光学平台

Everstill™ Active Benchtop Isolator

Everstill™是TMC在先进的地面振动控制方面的新突破。获得的Everstill K-400是一款台式主动振动消除平台??,采用“串行式”有源架构。再加上与速度传感器相结合,增强了低频灵敏度,实现了极低水平的低频振动大幅度衰减。

随着TMC的STACIS®压电振动消除技术发展,Everstill是一款台式主动振动消除平台,可消除0.7 Hz起始的的振动。专为大低频性能设计的Everstill擅长于1-10 Hz的范围,其中精密仪器对1-10 Hz往往是敏感的。

Everstill K-400设计用于将超精密仪器与建筑物地板振动相隔离,隔离的频率从1Hz开始。是光学显微镜,扫描探针显微镜SPM和计量仪器的理想选择。使用Gainmatch™(正在申请),您可以轻松选择三种增益设置中的一种,以在您的环境中实现佳性能。

便携式,紧凑型设计非常适合安装在工作台和桌子上。wei一的输入要求是来自标准AC插座的电力。

优势:  

的低频性能可以从0.7 Hz的频率隔离。提供非常显著的的振动消除,特别是在1-10 Hz的范围内。

获得的主动减振技术。非常适合小型轻量级超精密仪器

主动硬式安装。无需气泵,牢靠的即插即用设计。

先进的震动传感技术。采用地音探测速度传感器达到亚赫兹的低频性能,其低频灵敏度要优于加速度计。

结构体系

串联式主动系统(致动器与隔离弹簧串联)

震动传感器

地音探测式速度传感器(电压与速度成正比)

调平

自动调平

重复率

+/- 0.02 in (+/- 0.5mm)

尺寸

(W x L x H)16 x 20 x 4 in.

400 x 500 x 100 mm

重量

55 lbs. (25 kg)

负载能力:

50–330 lbs. (23–150 kg)

隔震性能

4–7 dB @ 1.0 Hz

> 20 dB,大于2.5 Hz时

共振频率

0.6 Hz

主动震动消除带宽

0.7–100 Hz

被动震动消除带宽

1000 Hz

供电

90-220V,50/60Hz

顶部基板

黑色阳极电镀铝(螺纹孔可选)

Everstill™ Ordering Chart

Catalog No.

Hole Pattern

Dimensions (LxH)

K-400

No Holes

16 x 20 x 3 in.
400 x 500 x 100 mm

K-400E

1/4 - 20 on 1 in. centers

K400M

M6 on 25 mm centers

Accessories Ordering Chart

Catalog No.

Description

Dimensions (LxH)

29-43240-01

46 lb. (21 kg) Load Plate

16 x 20 x 0.5 in.
400 x 500 x 12 mm

29-43245-01

Basepad

16 x 20 x 0.03 in.
400 x 500 x 0.8 mm

1163K-7512S

CleanBench for Everstill K-series

29.5 x 47.25 x 29.5 in.
750 x 1200 x 750 mm

1163K-7590S

CleanBench for Everstill K-series

29.5 x 35.4 x 29.5 in.
750 x 900 x 750 mm

83-501

Multi-Purpose Acoustic Enclosure 

32 x 36 x 64 in.
813 x 914 x 1626 mm

 

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